5g/H-800g/h را مولد ازن کوچک می نامند. ژنراتور ازن کوچک با استفاده از تکنولوژی متوسط تخلیه شیشه ای و غیر شیشه ای، ژنراتور ازن بار خازنی، فناوری اینورتر IF با قدرت بالا اختصاص داده شده است. سیستم مولد ازن متشکل از مولد ازن، دستگاه منبع گاز، دستگاه واکنش تماسی، دستگاه تصفیه گاز خروجی، دستگاه ابزار و کنترل و غیره است. .